尾气中含有有毒、腐蚀性气体，需要经过处理达标，减少有害气体的排放。

分类：

燃烧式：气体可分为可燃气体（SiH4,PH3,B2H6,等等）

湿式：气体可分为可溶性气体（Cl2,BCl3,等等）

燃烧/热和湿式：气体可分为可燃气体（SiH4,PH3,B2H6,等等）和可溶性气体（Cl2,BCl3，等等）

干式：气体可分为几乎所有的反应气体。

等离子和湿/干式：

对于PFC气体应有特殊设计：包括CF4,SF6,C2F6,等等。

其他类型：热与采集器式。