BSGS大宗供气系统
BSGS大宗供气系统
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BSGS大宗供气系统

工程描述

BSGS大宗供气系统作为半导体生产过程中必不可少的系统,高纯气体系统直接影响全厂生产的运行和产品的质量。相比较而言,集成电路芯片制造厂由于工艺技术难度更高、生产过程更为复杂,因而所需的气体种类更多、品质要求更高、用量更大,也就更具代表性。此系统是在气柜基础上开发的,可以持续进行超大流量不间断供应的特气供应系统。

    主要适用于:半导体、TFT、太阳能等工厂特气的集中供气。


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